蓝宝石超薄片定制;0.1-1mm, 可以双抛和单抛，应用于红外窗口，光学窗口，医疗窗口，蓝宝石衬底，芯片外延衬底片，
衬底片技术参数
规格参数 | 2 inch | 4 inch | 6 inch | 8inch |
直径 | 50.8 ± 0.1 mm | 100 ± 0.1 mm | 150 ± 0.1 mm | 200 ± 0.1 mm |
厚度 | 430 ± 25 um
或定制 | 650 ± 25 um
或定制 | 1300 ± 25 um
或定制 | 1300 ± 25 um
或定制 |
粗糙度 | Ra ≤ 0.3 nm | Ra ≤ 0.3nm | Ra ≤ 0.3nm | Ra ≤ 0.3 nm |
翘曲度 | ≤ 10um | ≤ 10um | ≤ 10um | ≤ 10um |
总厚度偏差 | ≤ 3 um | ≤ 3 um | ≤ 3 um | ≤ 3 um |
表面质量 | 20/10 | 20/10 | 20/10 | 20/10 |
表面状态 | 双面抛光; 单面抛光 |
形状 | 圆形, 带定位边 |
倒边 | 45°,C Shape |
材质 | 蓝宝石晶体 |
备注 | 蓝宝石晶圆可定制 |
