在1992年日本工程师中村修二划时代地利用蓝宝石基板制备了GaN外延层并顺利实现蓝光LED制作之后，蓝绿光LED实现了井喷式的大爆发，蓝宝石晶体化学成分为氧化铝，晶体结构为六方晶格，其具有超高的硬度，在高温下物理、化学性质稳定，光学性能优秀，逐渐成为蓝绿光LED的主流选择。
蓝宝石衬底材料是一种用于LED芯片衬底的材料，蓝宝石的稳定性很好，能够运用在高温生长过程中；最后，蓝宝石的机械强度高，易于处理和清洗。因此，大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。
技术参数
规格参数 | 2 inch | 4 inch | 6 inch | 8inch |
直径 | 50.8 ± 0.1 mm | 100 ± 0.1 mm | 150 ± 0.1 mm | 200 ± 0.1 mm |
厚度 | 430 ± 25 um
或定制 | 650 ± 25 um
或定制 | 1300 ± 25 um
或定制 | 1300 ± 25 um
或定制 |
粗糙度 | Ra ≤ 0.3 nm | Ra ≤ 0.3nm | Ra ≤ 0.3nm | Ra ≤ 0.3 nm |
翘曲度 | ≤ 10um | ≤ 10um | ≤ 10um | ≤ 10um |
总厚度偏差 | ≤ 3 um | ≤ 3 um | ≤ 3 um | ≤ 3 um |
表面质量 | 20/10 | 20/10 | 20/10 | 20/10 |
表面状态 | 双面抛光; 单面抛光 |
形状 | 圆形, 带定位边 |
倒边 | 45°,C Shape |
材质 | 蓝宝石晶体 |
备注 | 蓝宝石晶圆可定制 |
